光刻机|佳能:我来给中国提供光刻机( 二 )


\r一边是山高皇帝远的美国管辖 , 一边是不断增长的中国市场 , 孰轻孰重 , 佳能自然早有结论 。
\r政治原因之外 , 于佳能而言 , 借助中国市场 , 实现光刻机产业的“弯道超车” , 则是另一重它的隐秘“芯事” 。
\r根据爆料 , 佳能计划开发的该新一代设备很可能就是2021年成功研发的米压印光刻(NIL)的升级版 。
\r所谓NIL技术 , 是将三维结构的掩膜压在晶圆的感光材料上 , 同时照射光线完成一次性转印 , 被称为是最有前景的光刻技术之一 。
\r相比EUV , NIL主要有两大优势 。
\r第一 , NIL更省钱 。 众所周知 , EUV设备就是一台吞金兽 , 光购买价款就超过了一台波音客机 , 还有一年超一千万度的耗电量 。 而NIL不仅设备投资仅有EUV的40% , 耗电量更是仅有10% 。
\r第二 , 技术更加独立自主 。 传统光刻机市场中 , DUV自主并不罕见 , 但到了EUV阶段 , 则需要来自美国的光源、德国的镜片、英国的真空腔 , 举全球之力完成 。 但是对NIL技术来说 , 主要技术以及零件来源是日本的佳能 , 铠侠以及大日本印刷株式会社(DNP) , 并早在2017年就开始在日本三重县四日市的铠侠工厂内研发NIL量产 。 因此技术上并不受美国的长臂管辖 。
\r当然 , 这些目前也仅仅只是佳能的官方宣传 , 而且主要被用在存储芯片的生产 。
\r03不可忽视的日本半导体实力
\r一直以来 , 对于中国芯片产业链的安全 , 我们常常将其与全面国产画上等号 。 但必须承认的是 , 我们的芯片产业链安全 , 是分两步走的:
\r第一步 , 左手去美化 , 右手全球化 , 减少美系设备、美系技术对我们的制约 。
\r第二步 , 加快关于芯片设备、软件等上游环节的研发 , 实现国产 。
\r显然 , 拉近与佳能在内的日本企业的距离 , 正是我们走第一步的重要一环 。 毕竟 , 日本企业在半导体产业上的实力不可小觑 , 全球半导体设备TOP20供应商中 , 有11家来自日本 。
\r拆开各个环节来看 , 可以发现:
\r在光刻机领域 , 除了佳能之外 , 日本尼康同样是DUV领域的代表性玩家 , 并在3D芯片堆叠的封装光刻机等细分领域做到了全球领先 。
\r再比如 , 除去光刻之外 , 一颗芯片的制造还需要许多其他环节的配合 。 半导体前7道工艺环节按照设备产线投资 , 可以分为“三大四小”七个环节 , 光刻、刻蚀、沉积这三大是重中之重 。
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\r三大之中 , 除了光刻机可以直接决定芯片的尺寸之外 , 刻蚀、沉积设备同样也决定着芯片的制程良率 。 甚至在7nm芯片的DUV时代 , 刻蚀机的投入一度超过光刻机 , 成为采购占比最高的芯片设备 。
\r而日本的东京电子 , 正是一个从刻蚀到沉积 , 再到涂布多个领域四面开花的全能选手 。 尤其在涂布设备环节 , 东京电子的市占率高达九成 , 几近垄断 。 体现在营收上 , 东京电子是2021年全球半导体设备厂商营收的TOP3 , 仅次于美国的应用材料和荷兰的ASML 。
\r设备之外 , 在芯片的上游材料方面 , 日本同样打满全场:譬如 , 在氟聚酰亚胺领域 , 日本企业的占比高达90% 。 但日本的材料实力 , 可不只一个小小的氟聚酰亚胺 , 在19种芯片生产必备材料中 , 日本在其中的14种都处于行业领先 , 乃至垄断地位 。
\r尾声
\r关于中国的半导体产业 , 总会有一种观点认为 , 我们成为了一座孤立无援的孤岛 。 但果真如此嘛?
\r一个最近的小切口 , 可以帮助我们更好的了解事情的全貌 。
\r政客不断层层施压的当下 , 在今年上海的第五届进博会上 , 被美国点名的全球大型半导体及设备企业们踊跃参加: