而且2021年的出货量超过了30台 ， 其中就包括大量TFX4000系列设备 ， 顺利成为国内唯一为三星提供芯片制造工艺检测设备的企业 。 或许正是因此 ， 中微半导体在今年加大了对睿励的注册资本 ， 并加大对睿励的持股比例 ， 由此前的20%提升到了29% ， 这在很大程度上形成了产业链协同效应 ， 为今后的科研、业务发展提供了充足的保障 。

【芯片|摆脱美国芯片锁喉！又一关键设备100%国产化，助力5nm良品率99.9%】截止目前 ， 在晶圆检测方面虽然美企依然保持着相对领先优势 ， 但我国的睿励、东方晶源等在这一方面实现的重重突破 ， 尤其当老美成立联合日、韩等地区组成“芯片四方联盟” ， 旨在束缚我国芯片产业链的发展 ， 这为我国未来7nm、5nm等先进半导体制造工序的完善奠定了良好的基础 ， 至少在某些关键领域可以摆脱老美对国产芯片的锁喉！

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