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光刻机是芯片制造过程中最重要的设备之一 , 它的水平基本上决定着芯片制程工艺的发展水平 。 当然这并不是绝对 , 按说欧洲能够容易获得光刻机 , 制造水平也不行 。
因为除了光刻机 , 还需要芯片制造技术过硬 , 因此台积电才能做到领先 。 近年来 , 我们的制造技术不断进步 , EUV光刻机却被限制了 , 为此我们只能去突破国产EUV 。
关于国产DUV、EUV光刻机 , 网上的谈论很多 , 不少人认为光刻机非常复杂 , 我们投入不少 , 很难做出来 。 那么 , 到底目前进展如何?我们何时能够真正实现突破呢?
光刻机确实技术非常先进 , 尤其是EUV , 包含约10个零部件 , 每台的造价超过1.5亿美元 , 集成了全球多项高精尖技术 。 ASML曾表示 , 即使给图纸我们也做不出来 。
事实真是如此吗 , 我们真的做不出来EUV吗?业内的专家项立刚对此有不同看法 。
项立刚是我国通信业知名观察家、智能互联网研究专家 , 日常跟芯片行业人士接触较多 , 在网上谈论芯片相关也不少 。 他表示 , 只有真正干实业的 , 才了解具体情况 。
项立刚认为 , 网上传的光刻机多么复杂、单靠我们根本搞不出来 , 都是外企放出的消息 , 就是为了误导我们 。 并且我们决心去突破国产光刻机 , 也就是近几年才开始 。
只要我们下定决定了 , 他的判断是3年做出样机、5年规模量产 , 先DUV后EUV 。
近日 , 项立刚再谈光刻机 , 相信近几年大家会突然发现光刻机搞出来了 , 并且还大量商用了 。 之前是投入不多 , 20年投入才不到50亿 , 上海微电子也不超过20亿 。
现在开始重视了 , 有市场、有投入、有人才 , 相信已经做出来了 , 正在跑稳定性 。
项立刚说法非常令人振奋人心 , 但很多人估计还是不太相信 。 那么 , 接下来看下荷兰工程师的看法吧 。 近日 , 荷兰工程师在网上谈了EUV光刻机 , 重点提到了中国 。
第一 , 物理定律都是一样的这位荷兰工程师 , 在半导体行业工作多年 , 曾在中国生活和工作了3年 。 他认识很多来自ASML的工程师 , 对EUV光刻机也了解很多 , 因此他的说法还是比较可信的 。
他说EUV光刻机算是目前最复杂的工具 , 但它依然是由人类设计和制造的 , 其物理定律在全球都是相同的 。 既然荷兰企业能够做出来 , 那么其他国家当然也是可以的 。
ASML总裁之前也提到过 , 物理定律在中国和荷兰是一样的 , 他们的意思基本一致 。
第二 , 中国如今已经有实力除了上边的物理定律是一样的 , 这位荷兰工程师还重点提到 , 中国如今已经有雄厚的经济实力 , 目前中国经济是荷兰的17倍 , 这样的基础完全有实力发展光刻机 。
因为中国工具制造商完全可以用ASML等无法与之竞争的高薪去雇用顶尖的人才 。
荷兰工程师还表示 , 中国本身就是一个科技强国 , 研发支出排名全球第二 , 近年来专利申请最多 , 尤其是科技方面的人才也最多 。 光刻机荷兰可以 , 中国当然更可以 。
第三 , 光刻机只是时间问题物理定律一样 , 中国又有实力 , 只要有足够的时间 , 中国肯定也能做出EUV光刻机 。
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